4200-SCS型半导体特性分析系统

完整的DC I-V、C-V和脉冲解决方案

4200-SCS系统是用于器件、材料和半导体工艺电气特性分析的完整解决方案。这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量灵敏度和精度，同时集成了嵌入式Windows操作系统和吉时利交互式测试环境Interactive Test Environment，为用户进行半导体器件特性分析提供了直观而高级的功能。他是一套功能强大的单机解决方案。

要想获取某种器件或材料的特性参数，需要三种基本的电气测量技术。4200-SCS提供了这三种功能：

l 精密直流电流-电压（I-V）测量是实现器件电气特性分析的基础。

l 交流阻抗，包括大家熟知的电容-电压（C-V）技术，能够提供直流测量本身无法提供的器件特性。

l 脉冲和瞬态测试增加了一个时域维度，支持器件的动态特性分析。

硬件

4200-SCS采用了模块化、可配置、可升级的架构。这使得它能够准确满足当前的测量需求，并通过扩展满足后期的需求。它的9个仪器插槽可以混合配置4种核心测量模块。

l 多达9个精密直流源-测量单元能够提供和测量0.1fA到1A的电压，或者1μV到210V的电压。

l 利用4210-CVU（C-V模块）可以方便的在1kHz到10MHz测试频率下进行交流阻抗测试。可以测量的电容范围从aF级到μF级。

l 利用4225-PMU超快I-V模块可以进行脉冲和瞬态测量。该模块具有两个独立的电压源，能够以1V/ns的步幅调整电压，输出同时测量电压和电流。当安装了多个模块时，他们内部同步的精度小于3ns。

l 选择两种不同的数字示波器模块能够方便而高效地生成数字波形。

软件

吉时利交互式测试环境（KITE）提供了一套完整的图形用户界面，无需编程即可支持几乎所有类型的特性分析测试。他提供了400多种标准的特性分析测试，包括MOSFET、BJT晶体管、二极管、电阻器、太阳能电池、碳纳米管和NVM存储器，例如Flash、RRAM、PCRAM等等。

l 直观的、点击式Windows操作环境

l 独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至0.1fA

l 新型C-V仪器使得C-V测量与DC I-V测量一样容易

l 支持半导体高级测试所需的脉冲和脉冲I-V测试功能

l 示波器卡具有集成式示波器金额脉冲测量功能

l 配套的PC机支持快速测试设置。具有强大的数据分析、绘图和打印功能，可存储大量测试结果

l 独特的浏览器式项目浏览器按照器件类型组织测试，支持多路测试，具有设定测试序列和循环控制功能。

l 内置点击式可靠性测试的应力/测量、循环和数据分析功能，包括5种JEDEC兼容测试范例

l 支持各种LCR表、吉时利开关矩阵配置，以及吉时利3400系列和安捷伦81110脉冲发生器

l 支持Cascade Microtech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200型和PA-300型、Micromanipulator8860、Signatone CM500探测器和手动探测器的软件驱动

l 高级半导体建模功能支持吉时利的IC-CAP器件建模工具包驱动，支持Cadence BSIMProPlus/Virtuoso和Silvaco UTMOST