ACS自动特性分析套件系统

一个强大的软件解决方案——宽范围硬件配置

吉时利的自动特性分析套件（ACS）是一款灵活、交互式软件测试环境，用于器件特性分析、参数测试、可靠性测试，甚至简单功能测试。ACS支持多种吉时利仪器和系统、硬件配置和测试设置，从QA实验室中使用的一些台式仪器到全集成的自动化机架式参数测试仪。此外，ACS软件环境在不同硬件条件下能够保持一致地运行效率，大大减轻了从一个实验室或部门向另一个地方转移测试所需的工作，简化了在不同系统之间对比测试结果的过程。ACS具有极强的测试和分析灵活性，对于新用户无论其是否具有编程经验，ACS直观的GUI界面能够简化测试仪器配置、测试设置、I-V测量、结果获取和快速分析过程。

l 开发和运行器件级、site级、晶圆级和晶匣级测试

l 易用的测试项目，仅需很小改动甚至无需修改

l 真并行测试

l 支持宽范围仪器和探针

满足晶圆级可靠性测试需求的可扩展解决方案
ACS-2600-RTM

ACS晶圆级可靠性选件

吉时利自动化参数测试系统（ACS）中的晶圆级可靠性（WLR）测试子系统，使您获取产品寿命预测的速度比传统WLR测试方案快2-5倍。ACS-WLR软件采用交互式接口，提供强大的应力/测量时序定制工具，能够测试器件可靠性（HCI、BTI等）、栅氧完整性（TDDB、JRAMP、VRAMP等）和金属互连性（EM）。ACS软件具有灵活的测试时序定制功能，支持前测试和后测试，以及内应力测试和应力监测功能。并集成了包含标准参数提取算法的公式编辑器，使您只用点击操作就能容易地进行分析计算。

基于多台2600A系列数字源表的系统架构，使ACS实现将各个SMU配置为一个大规模、紧密协同的工作组进行并行测试，或者配置为若干个较小规模的工作组并行测试多个器件。SMU的内处理器和虚拟背叛融合了它们最佳的测量速度，具有精确的源/测量时序，这对于捕捉快速闪现的击穿事件是至关重要的。

兼容JEDEC的WLR测试例程，诸如热载流子注入（HCI）已经嵌入到ACS-2600-RTM中。值得注意的是，在此测试设置中如何将需要的全部测试参数包含在一个对话窗口中。不过，如果您的设备需要修改此标准例程，点击屏幕上的Text标签定制图形用户界面（GUI）就能满足您的具体要求。

ACS-2600-RTM包括范围广泛的分析工具和绘图软件，例如，HCI寿命测试结果的Weibull图。还包括log-normal、log-log和其他绘制类型等；内建的绘图工具可以提供定制绘图。可根据晶圆上所有元件的测试结果为晶圆图着色，从而您能迅速、方便地定位生产工艺中存在的问题。

l 可配置2-44条源-测量通道

l 兼容所有常用的晶圆探针台

l 支持串行测试和并行测试

l 集成多个硅单元并行测试的功能

l 兼容JEDEC的全面测试套件

l 实时绘图和绘制晶圆图