吉时利S530型参数测试系统和S500集成测试系统
吉时利S530型参数测试系统
业界性价比最高的全自动参数测试仪
S530参数测试系统能够实现工艺控制监测、工艺可靠性监测和器件特性分析所需的全部直流和C-V测量功能。这类系统针对混合了多种产品和技术的测试环境进行了优化设计，例如产线和研究实验室。S530系统还具有业界领先的测试序列灵活性、自动测试功能、探针台集成和测试数据管理功能。S530针对不同的参数测试应用环境提供了三种标准配置：
l S530基础系统是业界性价比最高的全功能参数测试仪。它能够提供具有很好测量灵敏度的1A电流源或200V电压源，非常适合于通用的工艺监测应用。
l S530低电流系统基于一种超低漏流的开关矩阵和具有亚皮安级测量分辨率的灵敏测量技术。他适合于亚微米硅MOS工艺的特性分析。
l S530高压系统能够提供高达1000V的电压，可用于汽车电子和电源管理测试应用所需的复杂的击穿和漏流测试。
S500集成测试系统
满足新兴测试和成熟测试需求的灵活方案
S500集成测试系统是高度可配置的，基于仪器的系统，用于器件级、晶圆级或晶匣级半导体特性分析。基于吉时利久经验证的测量仪器。S500系统新颖的测量特点和系统灵活性可根据您的需求进行拓展。S500系统的设计遵循3项吉时利标准原则;配置、集成和定制。这意味着您将获得一套面向半导体特性分析的全面测试系统：集成了业界领先吉时利硬件和高度可配置ACS软件（包括器件特性分析、可靠性/WLR、参数和器件功能测试）。凭借吉时利久经验证的测量仪器和用户友好的ACS软件，S500的配置、集成和定制特性同时融合了只有吉时利才能提供的应用体验。
l 高度可配置，基于仪器的系统
l 直观的测试设置、数据采集以及用ACS软件进行分析
l 吉时利的TSP-Link 背板提供高速测量吞吐量
l 全面控制自动和半自动探针
l 开发和运行器件级、site级、晶圆级和晶匣级测试