keysight是德B1500A 半导体器件参数分析仪
产品描述
Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪是精密电流-电压分析仪系列的一款一体化分析仪,支持 IV、CV、脉冲/动态 IV 等功能,专为从基础到尖端应用的全方位表征而设计。它提供广泛的测量功能,涵盖器件、材料、半导体、有源/无源元件或几乎任何其他类型的电子设备的电气特性和评估,具有无与伦比的测量可靠性和效率。此外,B1500A 的模块化架构具有 10 个可用插槽,如果您的测量需求随时间变化,您可以添加或升级测量模块。
Keysight EasyEXPERT group+ 基于 GUI 的表征软件可在 B1500A 的嵌入式 Windows 10 平台(配备 15 英寸触摸屏)上使用,也可以在 PC 上使用,以加快表征任务的执行速度。它支持从测量设置和执行到分析和数据管理的整个表征过程中高效且可重复的器件表征,无论是交互式手动操作还是与半自动晶圆探针仪一起实现
整个晶圆的自动化。EasyEXPERT group+ 提供数百种即用型测量(应用测试),让您能够轻松地立即执行复杂的器件表征,并允许您选择在每次测量后自动将测试条件和测量数据存储在独特的内置数据库(工作区)中,确保有价值的信息不会丢失,并且可以在以后重复测量。Keysight B1500A 具有这些多功能功能,为器件表征提供了完整的解决方案。
基本功能(测量能力):
电流与电压 (IV) 测量
• 0.1 fA - 1 A 和 0.5 μV - 200 V 的准确和精密测量范围
• 点和扫描测量
• 时间采样测量(最小采样率 100 μs)
• 使用 MCSMU 进行脉冲测量,最小脉冲宽度为 50 μs,使用 HPSMU、MPSMU 或 HRSMU 的最小脉冲宽度为 500 μs
• ASU(atto-sense 和 switch unit)可与 MPSMU 或 HRSMU 一起使用,以提供 0.1 fA 测量分辨率和 SMU/AUX 路径切换
• 每种 SMU 类型(HPSMU、MPSMU 和 HRSMU)提供两种模数转换器选择(高分辨率 ADC 或高速 ADC)
电容测量
• 多频交流阻抗测量支持 CV(电容与电压)、C-t(电容与时间)和 C-f(电容与频率)测量
• 电容测量频率范围为 1 kHz 至 5 MHz
• 带漏电流补偿的准静态电容电压 (QS-CV) 测量
• 使用可选的 SCUU(SMU CMU 统一单元)和 GSWU(保护开关单元)或一对 ASU 在 IV 和 CV 测量之间自动切换
脉冲 IV/快速 IV/瞬时 IV 测量
• 为超快速 IV(电流-电压)、脉冲 IV 和瞬态 IV 测量提供高速和高灵敏度测量能力,包括 NBTI/PBTI 和 RTN(随机电报信号噪声)测量
• 具有 10 ns 可编程分辨率的任意波形生成
• 同步高速电压/电流测量(200 MSa/s,5 ns 采样率)SMU 技术支持脉冲 IV 测量,无负载线效应
脉冲生成
• 高达 ±40 V 的电压脉冲和任意波形生成,用于非易失性存储器评估
• 单通道 2 级和 3 级脉冲能力
B1500A 平台
• 15 英寸触摸屏支持直观 GUI 的所有功能,便于设备表征
• 可配置和可升级的测量模块,每个主机有 10 个插槽
• GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 视频输出端口
EasyEXPERT group+ 软件
• 特性分析环境可在主机(嵌入式 Windows 10)或用户的 PC 上使用
• 基于图形用户界面的直观操作,包括键盘、鼠标操作和触摸屏
• 应用测试模式提供数百种即用型应用测试,以便快速执行测量
• 经典测试模式可轻松访问仪器的全部功能
• 图形显示和分析功能有助于进行前端数据分析,无需额外的实用程序,并支持将报告生成为图像数据或 Excel 数据
• 个性化内置数据库(工作区)自动记录测试数据,简化数据管理,不会烦恼大量数据文件
• 示踪测试模式支持曲线示踪器(如旋钮)控制测量参数,以支持交互式实时设备表征和自动数据记录功能
• 示波器视图(适用于 MCSMU)支持脉冲电压和电流波形查看,以便快速轻松地进行定时验证
• 快速测试模式支持无需编程即可进行测试排序
• Keysight B2200A、B2201A 和 E5250A 开关矩阵的基于 GUI 的控制基于 GUI 的自检、自校准和诊断菜单,用于硬件维护
• EasyEXPERT 远程控制功能支持通过 LAN 接口以交互方式在 GUI 上创建的应用程序测试的远程测量执行
• 数据备份功能和各种数据保护功能,供多个用户共享使用
• EasyEXPERT group+ 可以根据需要安装在任意数量的 PC 上,无需额外付费,即可在您所在部门的用户中利用离线个人分析仪环境。