产品描述
LET-5000半导体测试系统是一款测量与分析功率半导体器件静态参数的专用仪器，为所有类型的功率半导体器件提供静态参数测量解决方案。
LET-5000半导体测试系统能在2200V（可扩展为10KV）和1000A （可扩展为6000A）的条件下实现精确测量、分析功率半导体器件的静态参数。
LET-5000具有快脉冲能力，并具有优异的宽电压和电流测量能力。这些功能能够对最新的器件（例如 IGBT）和新型材料（例如 GaN 和 SiC）进行测量，可以测试器件包括：MOSFET、IGBT、二极管、三极管、JET、HEMT、光耦等。
LET-5000由多个独立的高精度源组成，每个功率源模块上配备两个独立的模数(AD)转换器支持2µs采样率，每个模块上的驱动能够独立精确控制，对有可能影响器件特性的关键计时进行精确监测。具有高电压和大电流特性、μΩ级导通电阻精确测量、nA 级漏电流测量能力等特点，支持高压模式下功率器件结电容测试，如输入电容、输出电容、反向传输电容等。
系统组成
（1）力钛科LETAK功率器件静态参数测试系统，主要包括测试主机、测试线、测试夹具、电脑、上位机软件，以及相关测试配件等构成。
（2）整套系统采用力钛科自主开发的测试主机，内置多种规格电压、电流、电容测量单元模块。结合专用上位机测试软件，可根据测试项目需要，设置不同的电压、电流等参数，以满足不同测试需求。测试数据可保存与导出，并可生成I-V以及C-V特性曲线。此外，测试主机可与探针台搭配使用，实现晶圆级芯片测试。
系统参数
| 项目 | 参数 | 范围 | 准确度 |
| 集电极-发射极 | 电压 | 300V--3500V | ±0.1% |
| 电流 | 5A--6000A | ±0.1% | |
| 电压上升沿 | 5ms | N/A | |
| 电流上升沿 | 15μs | N/A | |
| 最小电压脉宽 | 1ms | ±100μs | |
| 电流脉宽 | 50μs-500μs | ±5μs | |
| 漏电流测试范围 | 1nA-100mA | ||
| 栅极-发射极 | 电压 | 300mV--300V | ±0.1% |
| 电流 | 10nA--1A | ±0.1% | |
| 最小电压分辨率 | 30μA | N/A | |
| 最小电流分辨率 | 10pA | N/A | |
| 脉冲宽度 | 200μs--100ms | ±10μs | |
| 电容测试 | 频率范围 | 10Hz-1MHz | ±0.1% |
| 电容值范围 | 0.01pF-9.9999F | ±0.5% | |
| 信号电平 | 10mV-2Vrms | 0.06 | |
| 偏压 | 300V--3500V | ±0.1% | |
| 温控 | 范围 | 25℃-200℃ | ±1℃ |
LET-5000系列的主要应用
■ 功率半导体的来料检验
■ 功率半导体的静态参数验证或标定
■ 实验室的器件评估
■ 功率半导体的生产检验和筛选
■ 半导体器件的工艺改进评估
■ 半导体器件的失效分析
■ 半导体器件的教育科研
优势
硬件优势>>>
力钛科LETAK功率器件静态参数 测试系统，配置有多种测量单元模块， 模块化的设计测试方法灵活，能够极 大方便用户添加或升级测量模块，适 应测量功率器件不断变化的需求。
◆ 高电压达8000V(最大扩展至10kV)
◆ 大电流达6000A(多模块并联)
◆ nA级漏电流μQ 级导通电阻
◆ 高精度测量0.1%
◆ 模块化配置可添加或升级测量单元
◆ 测试效率高、自动切换、一键测试
◆ 兼容多种封装根据测试需求定制夹具
测试夹具
针对市面上不同封装类型的硅基功率半导体，IGBT、SiC、MOS、GaN 等产品，力钛科提供整套测试夹具解决方案， 可用于TO 单管，半桥模组等产品的测试，后期可根据客户需求来定制化相对应封装。
软件特点>>>
◆ 测试主机内部采用的电压、电流测量单元，均采用多 量程设计，测试精度为0.1%
◆ 栅极-发射极，最大支持30V/10A 脉冲电流输出与测 试，可测试低至pA级漏电流
◆ 集电极-发射极，最大支持6000A高速脉冲电流，典型 上升时间为15 μs, 且具备电压高速同步采样功能
◆ 最高支持8000V电压输出，且自带漏电流测量 功能
◆ 电容特性测试包括输入电容、输出电容、以及 反向传输电容测试，频率最高支持1MHz
软件界面
测试器件类型及项目
LET-5000系列测试器件类型及项目>>>
| 参数分类 | 参数符号 | 参数说明 |
| 三极管 | V(BR)CEO | 集电极-发射极击穿电压 |
| V(BR)CBO | 集电极-基极击穿电压 | |
| V(BR)EBO | 发射极-基极击穿电压 | |
| ICBO | 集电极-基极截止电流 | |
| IEBO | 发射极-基极截止电流 | |
| VCESAT | 集电极-发射极饱和电压 | |
| VBESAT | 基极-发射极饱和电压 | |
| IC | 集电极电流 | |
| IB | 基极电流 | |
| Ccb | 集电极-基极电容 | |
| Ceb | 发射极-基极电容 | |
| hFE | 增益 | |
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
| GaN HEMT | V(BR)DSS | 栅极-源极击穿电压 |
| VGS(th) | 栅极阈值电压 | |
| IDSS | 源极漏电流 | |
| IGSS | 栅极漏电流 | |
| RDS(on) | 源极-漏极导通电阻 | |
| VSD | 体二极管导通电压 | |
| ISD | 体二极管导通电流 | |
| Ciss | 输入电容 | |
| Coss | 输出电容 | |
| Crss | 反向传输电容 | |
| gfs | 跨导 | |
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
| 光耦 | IF | 正向电流 |
| VF | 正向电压 | |
| V (BR) | 反向击穿电压 | |
| VCE (sat) | 输出饱和压降 | |
| ICEO | 反向截止电流 | |
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
| 反向截止电流 | ||
| 输入电容 | ||
| 输出电容 | ||
| 入出间隔离电容CIO | ||
| 输出电流传输比CTR | ||
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| MOSFET | V(BR)DSS | 栅极-源极击穿电压 |
| VGS(th) | 栅极阈值电压 | |
| IDSS | 源极漏电流 | |
| IGSS | 栅极漏电流 | |
| RDS(on) | 源极-漏极导通电阻 | |
| VSD | 体二极管导通电压 | |
| ISD | 体二极管导通电流 | |
| Ciss | 输入电容 | |
| Coss | 输出电容 | |
| Crss | 反向传输电容 | |
| gfs | 跨导 | |
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
| IGBT | VCES | 集电极-发射极电压 |
| V(BR)CES | 集电极-发射极击穿电压 | |
| VCEsat | 集电极-发射极饱和电压 | |
| IC | 集电极电流 | |
| ICES | 集电极截止电流 | |
| VGES | 栅极-发射极电压 | |
| VGE (th) | 栅极-发射极阈值电压 | |
| IGES | 栅极漏电流 | |
| Ciss | 输入电容 | |
| Coss | 输出电容 | |
| Crss | 反向传输电容 | |
| gfs | 跨导 | |
| 输入特性曲线 | ||
| 输出特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
| 二极管 | VR | 反向击穿电压 |
| IR | 反漏电流 | |
| VF | 正向电压 | |
| IF | 正向电流 | |
| Cd | 电容值 | |
| I-V特性曲线 | ||
| C-V特性曲线 | ||
订购
LET-5000系列订购信息>>>
| 型号 | 准确度 | 最大电压 | 最大电流 |
LET-5110 | ±0.1% | 1200v | 1000A |
| LET-5210 | ±0.1% | 2200V | 1000A |
| LET-5220 | ±0.1% | 2200V | 2000A |
| LET-5310 | ±0.1% | 3500V | 1000A |
| LET-5320 | ±0.1% | 3500V | 2000A |
| LET-5340 | ±0.1% | 3500V | 4000A |
| LET-5820 | ±0.1% | 8000V | 2000A |
| LET-5860 | ±0.1% | 8000V | 6000A |
LET-5000系列系统硬件夹具选件>>>
| 型号 | 说明 |
| LET-TO-247plus-3L | TO-247plus-3L单管器件支持，含治具板; |
| LET-TO-263 | TO-263单管器件支持，含治具板; |
| LET-TO-3P | TO-3P单管器件支持，含治具板; |
| LET-PDFN5X6 | PDFN5X6单管器件支持，含治具板; |
| LET-SOT23 | SOT23单管器件支持，含治具板; |
| LET-SOT323 | SOT323单管器件支持，含治具板; |
| LET-SOP8 | SOP8单管器件支持，含治具板; |
| LET-1B | EasyPack 1B模块支持，含治具板; |
| LET-2B | EasyPack 2B模块支持，含治具板; |
| LET-PIM3 | EconoPIM3模块支持，含治具版; |
| LET-XXX | 客户定制治具板 |